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VIEW Mirco三维光学精微测量仪

超高精度影像测量仪VIEW Precis 200

ca88官方会员登陆:ca88亚洲城手机版入口:2018-12-12 16:03:01

超高精度影像测量仪VIEW Precis 200全新的Precis 200 是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统开发而来,集成了VIEW最先进的设计和技术。新的PRECIS包括许多可配置的选项,使该系统更加通用、实用和可靠:

扩展Z轴范围-2.5mm,5mm或100 mm.

透射照明

完整电子绘图 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 标准。

符合人体工程学的操作员控制台 ,带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器,符合SEMI S8

全自动程序控制显微镜

兆像素分辨率摄像头

VIEW Metrology Software (VMS™) 可以测量的零件类型很广泛, 可选CAD导入 以及完整的几何尺寸和公差判定。

MMWin – Wafer和Mask测量软件 –晶圆的重要尺寸和迭置重合测量, slider ABS,光掩模和平板显示器。

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